Uso de cálculos computacionais para auxílio ao projeto e análise de revestimentos antirrefletores para sensores de infravermelho

Resumo

Buscando melhoria do desempenho de fotodetectores construídos sobre substrato de fosfeto de índio (InP), o presente trabalho mostra como cálculos computacionais, relativamente simples, permitem obter parâmetros ideais para escolha de materiais adequados à deposição de revestimentos antirrefletores (RAR), além de auxiliar na análise desses filmes. Por conta de seu índice de refração próximo do ideal, a alumina (Al₂O₃) foi identificada como uma boa opção de material para RAR. Utilizando a mesma metodologia, determinamos a espessura ideal da cama. Filmes reais foram depositados, por evaporação induzida por feixe eletrônico, e caracterizados. Os cálculos permitiram interpretar os dados coletados e determinar os índices de refração efetivamente obtidos. O experimento mostrou diminuições expressivas das refletâncias médias, tanto em substratos de InP sem camadas epitaxiais, quanto em substratos de InP com camadas epitaxiais de arseneto de gálio e índio, InGaAs. Os cálculos também permitiram identificar caminhos a seguir para melhorar o resultado.